Beleggfremdrift

Last prøvesystemet inn i beleggkammeret.

Ved påføring av PVD-belegg kreves høyvakuum. Huashengs beleggsystem går i to trinn: Først reduserer den mekaniske pumpen vakuumkammertrykket fra 1000 mbar til 10⁻⁶⁶ mbar; Deretter genererer turbomolekylpumpen et høyvakuum på omtrent 1 x 10⁻⁶⁶ bar.

Varm opp kammeret til rundt 500 ℃, som er den konvensjonelle prosesstemperaturen.

Huashengs beleggsystem bruker tre forskjellige etseprosessteknologier: HUASHENG® (lateral glødeutladning); argonplasmaetsing, glødeutladning; metallionetsing (Ti+, Cr+).

Beleggavsetning oppnås ved hjelp av PVD (bueionbelegg, magnetronsputtering eller integrert katode HUASHENG®-teknologi).

Avkjøl beleggkammeret.

Tøm prøvesystemet ut av beleggkammeret.