-
Hva er arbeidsprinsippet for vakuumbeleggsutstyr?
+
A: Den bruker fysisk dampavsetningsteknologi (PVD) eller kjemisk dampavsetningsteknologi (CVD) for å fordampe målmaterialer i et vakuumkammer og avsette dem jevnt på underlag, slik at det dannes funksjonelle belegg i nanoskala.
-
Hvilket rutinemessig vedlikehold krever utstyret?
+
A: 1) Rengjør rester i vakuumkammeret hver 50. driftstime; 2) Kontroller oljenivået og tetningenes integritet i den mekaniske pumpen månedlig; 3) Kalibrer overvåkingssystemer for filmtykkelse hver kvartal. Originale forbruksvarer anbefales for optimal ytelse.
-
Hvilke materialer kan belegges med dette utstyret?
+
A: Kompatibel med metaller (Al/Ti), keramikk (Si3N4), polymerer osv. Maksimal substratstørrelse: Φ300 mm × 500 mm. Støtter belegg på arbeidsstykker med uregelmessig form.
-
Hva er energiforbruket til utstyret?
+
A: Standardmodellene har en nominell effekt på 15 kW med smart energisparemodus som reduserer standby-forbruket med 40 %. Drift ved full belastning koster omtrent 9 ¥/time (basert på en industriell pris på 0,6 ¥/kWh).
-
Hvordan feilsøke prosessavvik?
+
A: 1) Sammenlign nylige prosesskurver for 10 batcher via HMI; 2) Bruk vakuumlekkasjedetektor for å bekrefte kammerforsegling; 3) Kontakt teknisk støtte for fjerndiagnose (tilgjengelighet døgnet rundt).
HD500
