HD500
HD500 – Helt nytt kompositt ionbeleggsutstyr i HD-serien
Unik lateral etsing
√ Enestående ensartethet i lateral etsing
√ Utmerket etseoverheng og praktisk vedlikehold
Kompositt HiPIMS Magnetronsputtering
√ Utstyrt med DC + HiPIMS MS-kilder sikrer den høye avsetningshastigheter samtidig som den oppfyller energikravene for avsetning av ildfaste metaller som Nb, BC, W, V osv., og er i stand til å avsette nesten alle materialer.
Plasmaoptimalisert flerbuekilde
√ Utstyrt med 3 grupper med 6 sirkulære flerbue-målkilder, er den skjulte bueinitieringsmekanismen pålitelig og enkel å vedlikeholde.
√ Den kan enkelt oppnå flerelement- og flerlags tynnfilmavsetning.
√ Den optimaliserte plasma-multibuekilden sikrer en jevnere tynnfilmoverflate.
√ Målet for materialutnyttelsesgraden er ekstremt høy.
Flere plattformer for avsetningsteknologi
√ Realiser flere tynnfilmavsetningsteknologier på samme plattform, inkludert DC MS + HiPIMS MS + multi-arc ion plating, og kan implementere enkelt-, kompositt- og blandede beleggmetoder i samme batch.
| Navn | Parameter |
| Beleggteknologi | Helt ny komposittbeleggteknologi |
| Etsing | Lateral ionekilde (varmt filament) |
| Multibuekilder (antall) | 6 |
| Magnetronkatoder (antall) | 1 |
| Utstyrsstørrelse (mm) | lengde3400 * bredde1600 * høyde2600 |
| Kammervolum (m³) | 0,7 |
| Effektivt beleggareal (mm) | Ф410*400 |
| Maksimal arbeidstemperatur (℃) | 700 |
| Lastekapasitet (antall trær) | 5 |
| Bladbelastning (APMT1135) | 6000 stk |
| Stangbladets lastekapasitet (D4 * 50L) | 1800 stk |
| Maksimal lastevekt (kg) | 300 |
| Akseldiameter | F130 |
| Prosess tid | AlTiN: 6~8 timer |
