Etseteknologi

Spesialdesignet magnetfelt som omgir prøvesystemet jevnt

Utmerket homogenitet av etsingen

God diffraksjon

Justerbar etsestyrke

Etsede moduler er vedlikeholdsfrie

0102

PVD-beleggteknologi

Fysisk dampavsetningsteknikk (PVD) refererer til prosessen med å fordampe overflaten av en materialkilde (fast eller flytende) til gassformige atomer eller molekyler, eller delvis ionisere til ioner, ved bruk av fysiske metoder under vakuumforhold, og avsette en tynn film med visse spesielle funksjoner på substratoverflaten gjennom en lavtrykksgass- (eller plasma-) prosess. PVD er en av de viktigste overflatebehandlingsteknologiene.

Komposittbeleggteknologi: Kombinerer fordelene med lysbue- og magnetronsputteringsteknologier i samme fordampningskilde:

Arc ion plating (AIP)

Høy ioniseringsrate

Høy tetthet

Høy avsetningsrate

Mange mikropartikler

Ru overflate

G4 integrert katode

Høy ioniseringsrate

Høy tetthet

Høy avsetningsrate

Glatt overflate, ingen mikropartikler

Lav restspenning

Magnetronsputtering (MS)

Glatt overflate, ingen mikropartikler

Lav restspenning

Lav avsetningsrate

Lav ioniseringsrate

PECVD-beleggteknologi

Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD) er en prosess som avsetter ekstremt glatte, heftende amorfe diamantbelegg av hardlegering i et svært vakuummiljø. Sammenlignet med PVD-prosesser bruker PECVD-prosesser dypplateringsstrømforsyning, krever ikke katodemål, og arbeidsstykket trenger ikke å rotere i ovnskammeret. Denne prosessen er en ren, forurensningsfri, pålitelig og multifunksjonell belegningsprosess.

● Enkel maskinvare, ingen ekstra ioniseringskilde nødvendig

● Kompositt magnetfeltdesign, økende ioniseringshastighet

● Høy avsetningshastighet > 1 μm/t

● Lav avsetningstemperatur

● Glatt overflate, ingen forurensning av store mikropartikler

● Plasmarengjøringsprodukter, vedlikeholdsfrie

Simulering av ikke-likevekts lukket magnetfelt

Plasma med høy tetthet

Plasma-rengjøringsprodukter

PECVD (for aC:H)

Basert på kravene til slitestyrke, smøring, korrosjonsbestandighet og høy bindingsstyrke for deler, er DLC-belegget strukturelt utformet basert på konseptet med flerlagsstruktur, gradientovergang og grensesnittkompositt.

DLC-beleggstruktur

Tykkelse 2-4μm (avhenger av ulike krav)